Your browser does not support JavaScript!
跳到内容 跳到导航菜单

停机时间约减为五分之一 | 中国

切换为长使用寿命的照明,急剧减少更换频率

Yearly downtime caused by short life of fluorescent lights

每年都引发停机时间的原因是荧光灯的短使用寿命

半导体的材料使用硅片。在厚度仅数mm以内的该圆盘上涂上光敏剂,通过光源照射而将转录电路图(曝光处理),因此,为了在曝光处理之间不出现曝光现象,半导体制造工程的照明常年使用波长长,对光敏剂无影响的黄色荧光灯。但是,荧光灯的使用寿命仅1年,非常短,每年都需要更换。为此,半导体制造工厂为了更换荧光灯不得不停止装置。而且,因为荧光灯还有微量的水银,将来可能不能再使用。因2013年10召开的规定了从水银的挖掘到利用,至废弃的“关于水银的水俣公约”的外交会议,有92个国家在该公约上签名。若该公约一旦生效,则世界范围减少荧光灯的生产量,可预想到将来不能稳定的使用荧光灯。

更换照明频度约减为五分之一的爱德克的长寿命照明

不论从需每年更换一次,还是从将来可能不能使用方面考虑,维持习惯继续使用荧光灯实在不是明智的选择。

我们爱德克向半导体装置厂商提案,可在半导体装置使用,且可约5年长期使用的LED照明“LF1B-N型照明单元”。不仅具备不会引起硅片曝光的黄色照明机种,还满足半导体规格SEMI S8所规定的150mm处直下照明为300Lx以上的照度。因可以调光,所以任何尺寸的半导体制造装置均可使用。 

LF1B-N型照度分布图(at 0.5m参考值)